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マスフローコントローラって何よ

1 :名無しさん@1周年:02/02/10 23:03 ID:AG6JnpAk
最近MFCって聞くけど何なのさ。質量流量計?しらん。

2 :名無しさん@1周年:02/02/10 23:27 ID:mIqI13PF
(以下略

3 :名無しさん@1周年:02/02/13 20:36 ID:6Xf/iaal
半導体製造機器です。


4 :名無しさん@1周年:02/02/14 13:11 ID:CDUvWNR/
そうなんですか。これで半導体を作るのですね。わかりました、ありがとうございます

5 :名無しさん@1周年:02/02/14 20:53 ID:/pgk4rDN
プッ
どうやって、MFCで半導体をつくるんだぁ?

6 :名無しさん@1周年:02/02/14 23:00 ID:qMi/3wMX
http://www.oval.co.jp/products/masflo.html#masflo

http://www.mksinst.com/massfloHOME.html

7 :名無しさん@1周年:02/02/23 17:02 ID:WBixGGFF
構造がなんだか分かんないやぁ〜

8 :名無しさん@1周年:02/02/23 17:36 ID:cxWXpMtg
例えばガスの流量を10と決めたら10に制御するモノ。


9 :七氏:02/02/23 17:57 ID:y7t1rvws
窒素ガス封入式ハンダ付工法(フロー式)で、残留酸素濃度が
100ppm以下になるとハンダボールの発生率が極端に上がるので、
窒素ガスの流量をマスフローコントローラーで制御して雰囲気の
安定を図ったことがあります。

10 :名無しさん@1周年:02/03/02 17:34 ID:cj7rTOyq
>>8
質量流量計って名前を聞くだけで使った事がないが、体積流量計に比べて長所は何?
当方の搬送流体は、水と水蒸気と圧縮空気です。

11 :名無しさん@1周年:02/03/14 21:24 ID:EWecl17g
MKSとかSTEC・・

12 :名無しさん@1周年:02/03/14 22:09 ID:fdR5d1dW
単純に電気的に計測制御するので増すフローになるのだと思うが


13 :名無しさん@1周年:02/03/15 00:22 ID:EMKnE2Zx
半導体不況だが、最近のマスフローメーカーの景気はどうなのよ?
おととしあたりはクソ忙しかったらしく、修理を依頼しても3ヶ月から
半年かかるとかいわれたが最近はヒマになったのか?


14 :名無しさん@1周年:02/03/15 23:32 ID:fPLU5axx
>13
げげげ。修理納期半年?そんなに永いの?そんなメーカーのものは使うの
止めた方がいいよ。
景気悪いと人減るから、納期は変わらないとの話を聞きますが・・・・

15 :名無しさん@1周年:02/03/17 14:47 ID:t6FZZFp9
修理っていうとアッチも色々どこが悪いのか調べてから
書類作って、直して送り返してくる。
三ヶ月はありえるかも。
新品購入か代替品の方が、コッチのストレスが無くていいかも。

16 :名無しさん@1周年:02/04/12 00:04 ID:AKPcOFGO
MFCって言うんだよね。

17 :名無しさん@1周年:02/05/27 00:48 ID:s8PRT2E1
TELさん、MFCの説明ねがいます。いっぱい使ってるでしょ?

18 :un:02/05/27 02:38 ID:MNjt4q6t
こんばんは.
あまり詳しくないけど
熱線にガス当てて奪われる熱量(=抵抗値)
使ってニードルバルブを調整するってものらしいです.
ガス種で奪う熱量変わるから係数掛ければ
大抵のガスに使えるらしいです.
AERA、STEC、MKS辺りが有名だけど
友人の勤めているパイオニクス通じて
STEC買って.

19 :TEL:02/06/01 04:33 ID:m4hyxw1/
>>18
だいたいあたってる。良く知ってるね。フツー原理そのものをちゃんと知らないから
>>17サンみたいな人多いよ。

STECねー。ちょっと構造複雑すぎなんだよね。シェアはかなりあるけどちょとパス
俺的なお勧めはアエラかヒタチキンゾクだね。信頼性も高いし。


20 :名無しさん@1周年:02/07/21 14:39 ID:VVCkGquf
[SCCM]

21 :名無しさん@1周年:02/07/21 21:11 ID:m5WE2ziY
体積流量って気体の温度に大きく影響を受けるけど
質量流量だと重さだから影響受けないんじゃない?

22 :名無しさん@1周年:02/07/23 21:02 ID:7lWjWqiq
機械スレなので皆さんわかると
思いますが、
歯車ポンプとかチューブポンプは体積流量制御ですね.
>>21
さんのおっしゃるとおり
温度、圧力の影響を受けます.
その点、質量流量なら・・・、
あれ?マスフロも供給圧力決まってるよなぁ.
何でだろう?
(でも、用途によるんでしょうね)

23 :名無しさん@1周年:02/08/05 01:13 ID:iXfDp+3m
>>22
供給圧は流せりゃ良い範囲で、決められてるだけだと思うが,,,


24 :名無しさん@1周年:02/08/13 16:32 ID:2UNRs+AQ
でもSTEC(京都)の受付はいつもきれいな人ばっかり!! どれだけでSTEC採用決定。 

25 :名無しさん@1周年:02/08/13 23:47 ID:3iGiwtDl
>>24
そうすかっ!!
いいなぁ.
展示会でいってみよっと.


26 :名無しさん@1周年:02/08/14 21:20 ID:4UiuJoeI
MFCのトラブルで、0点ズレが結構発生するんだけど
STECの4001シリーズって4000シリーズと比べて
どうなんだろう。知ってる人詳細キボン。

27 :名無しさん@1周年:02/10/12 13:26 ID:Jw+PPIoF
>>19
日立金属がMFCを作ってるって、聞いたことなかったが、売る気はないのか。

28 :yamatake:02/11/17 22:00 ID:J6WgPpSF
山武にもマスフローコントローラあるよ。
結構優れものだよ。センサーが半導体薄膜チップだから、
応答性と精度はピカイチだ。
そんでも後発メーカーだから知名度がまだイマイチだね。
エステックさんなんかは、びびってるみたいだけど。
という私は元山武の営業マンです。
もうどうでもいいんだけど、あれだけはいい製品だと思う。


29 :名無しさん@1周年:02/11/18 17:27 ID:CNIroymq
ウチの会社で日立金属のSAMシリーズを使っていますが、ヤツの動作原理をご存知の方
おられますか?それと、最近「メタルシールを使って・・・」なんたらかんたらの
製品が多いですが、これはニードルの代わりに金属の薄膜を使うってこと?

30 :山崎渉:03/01/11 08:20 ID:wzOAH5zd
(^^)

31 :山崎渉:03/01/18 14:25 ID:c3f/l9l4
(^^)

32 :山崎渉:03/03/13 14:33 ID:ezzk8Fhe
(^^)

33 :山崎渉:03/04/17 09:27 ID:lBh9QBwB
(^^)

34 :山崎渉:03/04/20 04:14 ID:62iGJiyF
   ∧_∧
  (  ^^ )< ぬるぽ(^^)

35 :山崎渉:03/05/22 00:12 ID:k3WilOHW
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

36 :山崎渉:03/05/28 14:37 ID:/6YB7YdC
     ∧_∧
ピュ.ー (  ^^ ) <これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  =〔~∪ ̄ ̄〕
  = ◎――◎                      山崎渉

37 :名無しさん@3周年:03/07/08 09:11 ID:ajDq+daG
半導体薄膜チップのセンサ−は、塩素とかは大丈夫なのかな〜?
メタルシ−ルは樹脂のシ−ル材を使ってない意味と思うけど
違ってたらすみません。

38 :山崎 渉:03/08/15 19:45 ID:cYbbrbp4
    (⌒V⌒)
   │ ^ ^ │<これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  ⊂|    |つ
   (_)(_)                      山崎パン

39 :名無しさん@3周年:03/09/26 16:58 ID:8fGM/0TI
日立金属のSAMの中身はLINTECって本当?
チップのセンサ−は、塩素系とかはダメでしょう、たぶん。

40 :名無しさん@3周年:03/09/27 16:51 ID:10kJxlMB

現在、平井駅周辺情報ページへのアクセス数は全駅中第352位です  Up (前回は426位でした)

みんなで一番にするまでがんばりましょー
http://www.bit-st.jp/station/sta07279.htm

(`・ω・´)ノ ガンバロー

41 :元TELです。:03/09/27 18:21 ID:kxQXltHb
MFCはガスの流量を制御するもので、半導体関連の前工程の装置では
かなり正確な流量制御を必要とされます。再現性が一番重要なファクターです。
基本的な原理は18さんの回答の通りです。大別するとアクチュエータ(バルブ)
には2種類有り、ピエゾタイプとソレノイドタイプが有ります。特徴はピエゾタイプ
は応答性が速い。ソレノイドタイプはストロークを大きく取れる事ですかね。
アエラ(現AEJ:アドバンスドエナジージャパン)はソレノイドタイプ、STECはピエゾ
タイプを使っているのが特徴でしょうか!ピエゾタイプは目詰まりしやすい
特徴が有ります。逆に応答性は良いわけですから使い方で選べはいいんじゃないでしょうか?
たとえば、エッチング等でSTEPプロセスを行う様な場合は応答性の良いMFCがいいなじゃないかな?
TELでは、最新装置ではMFCを使わずFCSというものを使用しています。
MFCとは基本的に考え方が違い、圧力制御によるガスの流量制御しているものです。
ピエゾバルブ、圧力センサー、オリフィス、で構成されておりフローファクターというもので
質量流量に換算してガスを流してます。詳細を知りたい人はフジキンさんのHPで調べてみて
下さい。

42 :名無しさん@3周年:03/12/29 22:14 ID:1/5r4QRr
つまんねー

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